웨이퍼 후면 검사 자동화

반복 측정과 결함/형상 데이터 수집, 리포트 자동화를 위한 워크플로우를 구성합니다.

• ·반복 측정 자동화
• ·데이터 수집·정규화
• ·고객 장비 환경에서 추가 검증 필요