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Inspection Automation

검사·계측 자동화 소프트웨어

광학 검사, 표면 계측, 웨이퍼 후면 검사, 공구 표면 검사 등 반복 측정과 리포트 생성이 필요한 검사 공정을 자동화합니다.

Sensofar에 한정되지 않는 방향

특정 장비/SDK에 종속되지 않는 장비·센서 중립적 자동화 구조를 지향합니다. 어댑터를 통해 다양한 장비에 연결할 수 있도록 설계합니다.

표면 계측 자동화

거칠기·형상·프로파일 측정과 판정, 리포트 생성을 자동화합니다. 방법 명명은 표준에 정렬하되 인증을 주장하지 않습니다.

  • ·areal/profile 파라미터 산출
  • ·form removal · 마스크 처리
  • ·데모 환경 기준 검증
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웨이퍼 후면 검사 자동화

반복 측정과 결함/형상 데이터 수집, 리포트 자동화를 위한 워크플로우를 구성합니다.

  • ·반복 측정 자동화
  • ·데이터 수집·정규화
  • ·고객 장비 환경에서 추가 검증 필요
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